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壓電式傳感器
壓電式傳感器可以對(duì)各種動(dòng)態(tài)力、機(jī)械沖擊和振動(dòng)進(jìn)行測量,在聲學(xué)、醫(yī)學(xué)、力學(xué)、導(dǎo)航方面都得到廣泛的應(yīng)用。它具有體積小、質(zhì)量輕、頻響高、信噪比大等特點(diǎn)。
壓電式傳感器
壓電式傳感器的工作原理是基于某些介質(zhì)材料的壓電效應(yīng),是典型的有源傳感器。當(dāng)材料受力作用而變形時(shí),其表面會(huì)有電荷產(chǎn)生,從而實(shí)現(xiàn)非電量測量。
壓電效應(yīng)
某些電介質(zhì),當(dāng)沿著一定方向?qū)ζ涫┝Χ顾冃螘r(shí),其內(nèi)部就產(chǎn)生極化現(xiàn)象,同時(shí)在它的兩個(gè)表面上便產(chǎn)生符號(hào)相反的電荷,當(dāng)外力去掉后,其又重新恢復(fù)到不帶電狀態(tài),這種現(xiàn)象稱壓電效應(yīng)。相反,當(dāng)在電介質(zhì)極化方向施加電場,這些電介質(zhì)也會(huì)產(chǎn)生變形,這種現(xiàn)象稱為“逆壓電效應(yīng)”(電致伸縮效應(yīng))。
壓電材料
石英晶體、鈦酸鋇、鋯鈦酸鉛等材料是性能優(yōu)良的壓電材料。應(yīng)用于壓電式傳感器中的壓電元件材料一般有三類:壓電晶體、經(jīng)過極化處理的壓電陶瓷、新型壓電材料。
他們都具有較大的壓電常數(shù),機(jī)械性能良好,時(shí)間穩(wěn)定性好,溫度穩(wěn)定性好等特性,所以是較理想的壓電材料。
1、壓電晶體
天然形成的石英晶體外形
石英晶體切片及封裝
石英晶體在振蕩電路中工作時(shí),壓電效應(yīng)與逆壓電效應(yīng)交替作用,從而產(chǎn)生穩(wěn)定的振蕩輸出頻率。
石英晶體振蕩器(晶振)
石英晶體是一種應(yīng)用廣泛的壓電晶體。它是二氧化硅單晶體,屬于六角晶系。它為規(guī)則的六角棱柱體。石英晶體有3個(gè)晶軸:x軸、y軸和z軸。vz軸又稱光軸,它與晶體的縱軸線方向一致:x軸又稱電軸,它通過六面體相對(duì)的兩個(gè)棱線并垂直于光軸:y軸又稱為機(jī)械軸,它垂直于兩個(gè)相對(duì)的晶柱棱面。
石英晶體的壓電效應(yīng)與其內(nèi)部結(jié)構(gòu)有關(guān),產(chǎn)生極化現(xiàn)象的機(jī)理可說明。石英晶體的化學(xué)式為SiO2,它的每個(gè)晶胞中有3個(gè)硅離子和6個(gè)氧離子,一個(gè)硅離子和兩個(gè)氧離子交替排列(氧離子是成隊(duì)出現(xiàn)的)。沿光軸看去,可以等效地認(rèn)為正六邊形排列結(jié)構(gòu)。
圖中1—正電荷等效中心 2—負(fù)電荷等效中心
(1)在無外力作用時(shí)
(2)當(dāng)晶體沿電軸(x軸)方向受到壓力時(shí),晶格產(chǎn)生變形
(3)同樣,當(dāng)晶體的機(jī)械軸(y軸)方向受到壓力時(shí),也會(huì)產(chǎn)生晶格變形
(4)當(dāng)晶體的光軸(z軸)方向受到受力時(shí),由于晶格的變形不會(huì)引起正負(fù)電荷中心的分離,所以不會(huì)產(chǎn)生壓電效應(yīng)。
沿機(jī)械軸方向的力作用在晶體上時(shí),產(chǎn)生的電荷與晶體切面的幾何尺寸有關(guān),式中的負(fù)號(hào)說明沿機(jī)械軸的壓力引起的電荷極性與沿電軸的壓力引起的電荷極性恰好相反。
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